第1步

初期清扫(清扫检查)，以设备本体为中心的灰尘、脏污之清除、给油、锁紧、设备不正常部分的发现及复原。执行的活动内容包括：以设备本体为中心，对于灰尘、污垢作全面性的排除。给油、锁紧的实施，以及指摘出设备的微缺陷，并加以复原。撤除不要物品，治工具、备品的整理、整顿。

第2步

发生源困难部位对策，灰尘、脏污的发生源、飞散的防治、清扫、给油、锁紧、改善难以检查的部分，变成容易检查，以期缩短点检时间。执行内容包括：实施防止灰尘、污垢、泄漏等发生源飞散的对策。实施清扫、点检困难部位的对策(缩短、清扫、给油时间的改善作业)。区分日常检查的重点部位优先顺位。整理改善内容与效果的确认。

第3步

制作自主保养暂定基准，要作成行动基准，使能在短时间内完成清扫、给油、锁紧、检查(要明订出作上述各项事情的时间。执行内容包括：制作短时间能确实维持清扫、给油锁紧点检的行动基准。改善使易于进行点检与目视管理技能。

第4步

总点检，以点检手册进行点检技能教育，及实施总点检，找出设备的微缺陷并复原之。执行内容包括：依点检手册，研习点检技能。总点检项目的摘出与复原。制作自主点检标准。制作总点检训练教材，建立教育训练日程，实施领导人教育，教育训练的追踪，制作总点检手册和查核表。

第5步

自主点检，做成自主检查表并实施。执行内容包括：检讨清扫、给油、总点检基准，作综合性的体系化，以促进活动的效率化。制作自主点检查核表与实施。改善目视管理，设法提高操作性。

第6步

标准化，实施各种现场管理项目的标准化，谋求维持管理的完全制度化，清扫、给油点检基准；现场的物流基准；数据记录的标准化；模具、治工具管理基准等。执行内容包括：抽出管理对象项目。促进管理项目的标准化与维持管理的系统化。

第7步

自主管理的彻底实施，公司方针、目标的展开及改善活动的定常化，MTBF分析记录确实实施，并加以分析以改善设备。执行内容包括：公司方针、目的展开与改善活动的落实。确实地实施MTBF分析记录(目视的故障记录)，以提升设备的改善。

第一阶段：

第一步骤至第三步骤的阶段，透过以设备的清扫点检为中心的活动，彻底地整备设备的基本条件，以建立其维持体制的阶段。在自主保养展开当中，就是设备改变的过程。要做到清扫即是点检；点检在于发现不正常情况；不正常情况，必须进行复原改善。

透过了解上述步骤，并且亲身体验其各种辛劳，及动脑筋加以思考为何要如此做，是一个重要的过程。并且要落实好清扫、给油、锁紧螺丝三要素，这是为防止劣化的最少必要条件，亦为所有TPM活动的基础。 

第二阶段：

第四步骤至第五步骤的阶段，实施设备总点检技能教育与点检，使其从防止劣化的活动，发展至测定劣化的活动，这个阶段主要是做到劣化的复原改善，也就是成果。如此工作有了成果，可使人的想法改变，此为使其建立自主管理体制的重要阶段。

第三阶段：

第六步骤至第七步骤的阶段，亦为完成标准化与自主管理的阶段。对于操作员本身要求提升管理技术，扩大自主管理的范围，目标意识的高扬，落实保养成本等成本意识，学会设备小修理等保养技术。也经由此阶段，使得操作员与现场，有很大的改变，而成为自主管理的现场。